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机译:使用极紫外光刻制造的分子和纳米电子测试(mONET)平台。
Dentinger, Paul M.; Cardinale, Gregory F.; Hunter, Luke L.; Talin, Albert Alec;
机译:C-60在极端紫外线下的分子和原子状光电离
机译:使用可见光和极紫外干涉仪测试极紫外光学器件
机译:Talbot极紫外光刻技术制备的周期性纳米结构
机译:部分相干定量相位检索及其在极紫外光刻中的应用。
机译:考虑用于在早期药物开发中检测药物诱导的肌力作用的体外基于细胞的测试平台。第2部分:设计和制造用于使用人iPSC心肌细胞测定具有生理相关性的心肌收缩力的微系统
机译:用于极端紫外线光刻的电镀反射面罩的制造。
机译:极紫外掩膜毛坯,使用极紫外掩膜毛坯制造的图像,使用光掩膜的光刻设备以及使用光掩膜制造半导体装置的方法
机译:使用极紫外曝光掩模坯料的图案转印方法,极紫外曝光掩模,制造方法以及用于极紫外辐射曝光掩模的极紫外辐射曝光掩模
机译:用于极端紫外线照射的面膜空白,用于极端紫外线照射的面膜,用于极端紫外线照射的面膜的制造方法以及使用用于极端紫外线照射的面膜的图案转移方法
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